洁净室综合性能检验方法--微粒计数浓度的检测
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《GB 50591-2010 洁净室施工及验收规范》标准学习——洁净室综合性能检验方法之微粒计数浓度的检测。
1. 室内检测人员应该控制在最低数量,不宜超过两人,面积超过过100m2又需快速完成测定任务时,可适当增加人数。人员必须穿洁净服,应位于测点下风侧并远离测点,动作要轻,保持静止。
2. 0.1um至5um微粒的检测应符合以下要求:
(1) 当采用光学粒子计数器(OPC)测定0.1 um至5um 的微粒计数浓度时,应按本规范第16.4.5条第1款给出的公式计算空气洁净度级别。粒子计数器粒径分辨率应小于等于10%,
粒径设定值的浓度允许误差应为士20%,并应按所测粒径进行标定,符合现行国家标准《尘埃粒子计数器性能试验方法》GB/T 6167的规定。
(2) 测点数可按下式求出:
式中:nmin——最少测点数(小数一律进位为整数);
A——被测对象的面积(m)对于非单向流洁净室,指房间面积;对于单向流洁净室,指垂直于气流的房间截面积;对于局部单向流洁净区,指送风面积。
测点数也可按下表选用:
测点数选用表
面积(m2) | 洁净度 | |||
5级及高于5级 | 6级 | 7级 | 8~9级 | |
<10 | 2~3 | 2 | 2 | 2 |
10 | 4 | 3 | 2 | 2 |
20 | 8 | 6 | 2 | 2 |
40 | 16 | 13 | 4 | 2 |
100 | 40 | 32 | 10 | 3 |
200 | 80 | 63 | 20 | 6 |
400 | 160 | 126 | 40 | 13 |
1000 | 400 | 316 | 100 | 32 |
2000 | 800 | 623 | 200 | 63 |
(3)每一受控环境的采样点不宜少于3点对于洁净度5级及优于5级以上的洁净室,应适当增加采样点,并得到用户(建设方)同意并记录在案。
(4)采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内,并位于工作区高度(取距地0.8m,或根据工艺协商确定),当工作区分布于不同高度时,可以有1个以上测定面。乱流洁净室(区)内采样点不得布置在送风口正下方。
(5)如建设方要求增加采样点,应对其数目和位置协商确定。
(6)每一测点上每次的采样必须满足最小采样量。最小采样量根据“非零检测原则”由下式求出:
式中:浓度下限单位为粒/L。
每次采样最小采样量按下表选用。
最小采样量表
洁净度等级 | 不同等级下,大于等于所采粒径的最小采样量 | |||||
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um | |
1 级浓度下限/粒/m3) | 1 | 0.24 | - | - | - | - |
采样量/L | 3000 | 12500 | - | - | - | - |
2级浓度下限/粒/m3) | 10 | 2.4 | 1 | 0.4 | - | - |
采样量/L | 300 | 1250 | 3000 | 7500 | - | - |
3级浓度下限/粒/m3) | 100 | 24 | 10 | 4 | - | - |
采样量/L | 30 | 125 | 294 | 750 | - | - |
4级浓度下限/粒/m3) | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | - |
采样量/L | 3 | 12.7 | 29.4 | 86 | 375 | - |
5级浓度下限/粒/m3) | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | - |
采样量/I | 2 | 2 | 3 | 8.6 | 36 | - |
6级浓度下限/粒/m3) | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
采样量/L | 2 | 2 | 2 | 2 | 3.6 | 102 |
7级浓度下限/粒/m3) | - | - | - | 35200 | 8320 | 293 |
采样量/L | - | - | - | 2 | 2 | 10.2 |
8级浓度下限/粒/m3) | - | - | - | 352000 | 83200 | 2930 |
采样量/L | - | - | - | 2 | 2 | 2 |
9级浓度下限/粒/m3) | - | 1 | - | 3520000 | 832000 | 29300 |
采样量/L | - | - | - | 2 | 2 | 2 |
注:表中最小采样量取到2L,用2.83L/min 计数器时,则实际最小采样量大于2L,表中最小采样量大于2.83L的,可用2.83L/min 计数器采样多于1min,或用28.3L/min 计数器采样 1min,余类推。
PC3500粒子计数器
(7) 每点采样次数应满足可连续记录下3次稳定的相近数值,3次平均值代表该点数值。
(8)当怀疑现场计算出的检测结果可能超标时,可增加测点数。
(9)测单向流时,采样头应对准气流;测非单向流时,采样头一律向上。
(10) 当要求0.1um~5um微粒在采样管中的扩散沉积损失和沉降、碰撞沉积损失小于采样浓度的5%时,水平采样管长度也应符合附录D.3.6条的规定。
(11) 若采样口流速与室内气流速度不相等,其比例应在0.3:1~7:1之间
(12) 当因测定差错或微粒浓度异常低下(空气极为洁净)造成单个非随机的异常值,并影响计算结果时,允许将该异常值删除,但在原始记录中应注明。
每一测定空间只许删除一次测定值,并且保留的测定值不少于3个
(13)对于需要很大采样量、耗时很大的某粒径微粒的检测,可采用顺序采样法即将每次测定结果标注于下图上,当标注点落入不合格区时即停止检测结果为不达标;当标注点落人合格区时,停止检测,结果为达标;当标注点一直在继续区中延伸,而总采样量已达到上表的最小采样量,累计微粒数仍小于20即停止检测结果为达标;当标注点一直在继续
区中延伸,而总采样量未达到最小采样量,但累计微粒数已超过20,即停止检测,结果为不达标。
3. 对小于0.1um的超微粒的检测,应采用适合这类微粒具体特性的采样装置组合使用。可采用凝结核计数器(CNC或CPC)加静电式分级器(迁移率分析仪)(DMA)、凝结核计数器(CNC或CPC)加扩散式分级器(DB)等,但必须有明确的性能说明书,或有自检报告,对所测超微粒的最低粒径的计数效率应达到50%,采样点数目应与第2条对0.1um~5um的要求相同。
4. 大于5um的大(宏)微粒的检测应符合下列要求:
(1) 用光学粒子计数器检测时应遵守下列规定:
1)粒子计数器应经过大微粒的标定,符合现行国家标准《尘埃粒子计数器性能试验方法》GB/T 6167的规定,对洁净室为6级或优于6级的洁净室的测定,应采用不小于28.3L/min的计数器,对其他级别洁净室的洁净度应采用不小于2.83L/min的计数器;
2)当用28.3L/min 计数器时,水平管不应长过0.5m,当用2.83L/min 计数器时,原则上不宜有水平管;
3)采样口面积应按等速采样原则确定,室内风速取平均风速。
(2) 用过滤器采集、显微镜检测时,应遵守下列规定:
(略)
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